優(yōu)普超純水制造系統(tǒng)是指系統(tǒng)從原水*生產(chǎn)到超純水的生產(chǎn)系統(tǒng)。一般超純水系統(tǒng)通過離子交換、脫氣、反滲透、UV、超濾、納米速率、離子吸附過濾等多重過濾產(chǎn)生超純水。一般來說，超純水系統(tǒng)可分為三部分：超純水制造區(qū)（CUB部分）；超純水拋光循環(huán)區(qū)（FAB部分）；超純水傳輸網(wǎng)絡(luò)（FAB各使用區(qū)）。

　　

　　優(yōu)普超純水制造系統(tǒng)是一個非常重要且復(fù)雜的部分，分為預(yù)處理、初級純水處理和超純水處理三個部分。預(yù)處理部分主要包括：砂濾和活性炭塔；初級純水主要包括陰離子交換塔、脫氣塔（DG）、安全過濾器、紫外線殺菌器和多級反滲透；超純水主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）和末端過濾器。但考慮到輸水管道在將高純水輸送到工藝線設(shè)備的過程中會再次污染水質(zhì)，因此拋光循環(huán)系統(tǒng)一般設(shè)置在晶圓廠內(nèi)。精制循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心，外加超濾設(shè)備（UF），在將純水輸送到工藝生產(chǎn)線的過程中，去除管網(wǎng)中溶解在水中的雜質(zhì)。

　　

　　1、液位聯(lián)鎖全自動控制，具有系統(tǒng)開機(jī)自檢、原水不足停機(jī)自動保護(hù)、系統(tǒng)低壓高壓停機(jī)報警、缺相過流停機(jī)報警、自動水箱高水位停機(jī)/中水位啟動、系統(tǒng)自動沖洗等。同時系統(tǒng)還具有手動操作功能，滿足應(yīng)急需要；

　　

　　2、增強(qiáng)型預(yù)處理系統(tǒng)采用全自動控制閥，實現(xiàn)預(yù)處理的自動/手動再生，使用壽命長；

　　

　　3、恒壓供水系統(tǒng)由全自動水泵控制器控制，數(shù)字電路經(jīng)久耐用，可手動操作；

　　

　　4、儀器儀表全顯示設(shè)計，可有效監(jiān)測系統(tǒng)各項指標(biāo)，純水電導(dǎo)儀在線監(jiān)測??膜水質(zhì)，純水電導(dǎo)儀實時監(jiān)測純水電導(dǎo)率；

　　

　　5、優(yōu)普超純水制造系統(tǒng)采用CNP專用高壓泵、進(jìn)口RO膜、進(jìn)口繼電器、管道接頭等元件，采用模塊化、一體化工藝設(shè)計，性能穩(wěn)定，設(shè)備安裝維護(hù)簡單。