超濾除熱源型超純水機清洗方法分為常用清洗方法和化學清洗方法兩種。常用清洗方法又分為等壓清洗、反向清洗和高純水清洗三種方法，是超濾除熱源型超純水機膜使用后，由于分離物質及其他雜質在膜表面積聚，對膜造成污染和堵塞，膜的有效清洗是延長膜使用壽命的重要手段。化學清洗法主要是利用化學藥品與膜面雜質進行化學反應來達到清洗膜目的。在選擇化學藥品方面需要注意不能和膜及膜組件其他材質發生任何化學反應。選擇藥品需要避免二次污染。