電子工業超純水系統工藝流程

　　水質標準需符合美國ASTM標準，電子超純水水質標準。

　　超純水系統應用場合

　　半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;LCD、EL、PDP、TFT、玻殼、顯像管;超純材料和超純化學試劑；

　　光導纖維、光盤;汽車、家電表面電泳漆清洗用水;其他高科技精微產品;實驗室和中試車間。

　　超純水系統工藝流程

　　方案一：預處理→反滲透→初混→精混→終端后處理；

　　方案二：預處理→二級反滲透→EDI（CDI）→終端后處理；

　　方案三：膜法（UF）預處理→二級反滲透→EDI→膜脫氣→拋光→終端后處理。